Result Details
Zařízení pro anodické pájení
Registered: 2 June 2011
Approved: 25 July 2011
English title
Anodic bonding device
Type
utility model
Language
Czech
Authors
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., FBM (FBM), UMEL (FEEC)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC), ISMMB (FME), ISMMB DM (FME)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC (CEITEC), UMEL (FEEC)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Mareček Karel
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC), ISMMB (FME), ISMMB DM (FME)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC (CEITEC), UMEL (FEEC)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Mareček Karel
Description
Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.
English description
Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.
Keywords
anodické pájení, MEMS
English keywords
anodic bonding, MEMS
URL
Number
22520
Issuer
Úřad průmyslového vlastnictví, Prague, CZ
License
In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license
License Fee
The licensor does not require a license fee for the result
Owner
Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ
Departments