Result Details

Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje

HÁZE, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; PAVLÍK, M.; MAGÁT, M. Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje. 1. 2007. s. 1-44.
English title
Research report of New mechatronic structures MEMS utilized for pressure sensing
Type
research report
Language
Czech
Authors
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEEC)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEEC)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Abstract

Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje

English abstract

Research report of New mechatronic structures MEMS utilized for pressure sensing

Keywords

MEMS, výzkumná zpráva

English keywords

MEMS, research report

Published
2007
Pages
1–44
Series
1
Edition
1
BibTeX 
@techreport{BUT57784,
  author="Jiří {Háze} and Radimír {Vrba} and Richard {Ficek} and Michal {Pavlík} and Martin {Magát}",
  title="Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje",
  year="2007",
  series="1",
  edition="1",
  pages="1--44"
}
Departments
Department of Microelectronics (UMEL)
Back to top