Detail výsledku
Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje
HÁZE, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; PAVLÍK, M.; MAGÁT, M. Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje. 1. 2007. s. 1-44.
Název anglicky
Research report of New mechatronic structures MEMS utilized for pressure sensing
Typ
výzkumná zpráva
Jazyk
česky
Autoři
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Abstrakt
Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje
Abstrakt anglicky
Research report of New mechatronic structures MEMS utilized for pressure sensing
Klíčová slova
MEMS, výzkumná zpráva
Klíčová slova anglicky
MEMS, research report
Rok
2007
Strany
1–44
Řada
1
Vydání
1
BibTeX
@techreport{BUT57784,
author="Jiří {Háze} and Radimír {Vrba} and Richard {Ficek} and Michal {Pavlík} and Martin {Magát}",
title="Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje",
year="2007",
series="1",
edition="1",
pages="1--44"
}
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky
(UMEL)