Result Details
Zařízení pro anodické pájení
Created: 2010
English title
Anodic bonding device
Type
prototype
Language
Czech
Authors
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC (CEITEC), UMEL (FEEC)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC), ISMMB DM (FME)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC (CEITEC), UMEL (FEEC)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEEC), ISMMB DM (FME)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEEC)
Description
Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.
English description
Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.
Keywords
anodické pájení, MEMS
English keywords
anodic bonding, MEMS
Location
Technická 10 - 0.67
License
Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)
License Fee
The licensor does not require a license fee for the result
Departments