Detail výsledku
Zařízení pro anodické pájení
Vznik: 2010
Název anglicky
Anodic bonding device
Typ
prototyp
Jazyk
česky
Autoři
Háze Jiří, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC VUT (CEITEC VUT), UMEL (FEKT)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT), ÚMTMB OM (FSI)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Pavlík Michal, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC VUT (CEITEC VUT), UMEL (FEKT)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT), ÚMTMB OM (FSI)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Popis
Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.
Popis anglicky
Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.
Klíčová slova
anodické pájení, MEMS
Klíčová slova anglicky
anodic bonding, MEMS
Umístění
Technická 10 - 0.67
Licence
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Pracoviště