Result Details

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

VRBA, R., FICEK, R. Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku. 1. Buchlovice: MPO ČR, 2006. 14 s.

English title

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Type

research report

Language

Czech

Authors

Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEEC)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEEC)

Abstract

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

English abstract

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

English keywords

MEMS, nanotechnology, pressure sensor, measurement

Published

2006

Pages

Series

Publisher

MPO ČR

Place

Buchlovice

BibTeX

@techreport{BUT57521,
  author="Radimír {Vrba} and Richard {Ficek}",
  title="Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku",
  year="2006",
  publisher="MPO ČR",
  address="Buchlovice",
  series="1",
  pages="14"
}

Departments

Department of Microelectronics (UMEL)