Kapacitní snímač tlaku DSK705

Název anglicky

Capacitive pressure sensor DSK705

Typ

prototyp

Jazyk

česky

Autoři

Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., CEITEC VUT (CEITEC VUT), RG-2-02 (CEITEC VUT), UMEL (FEKT)
Kadlec Jaroslav, Ing., Ph.D.
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., RG-1-02 (CEITEC VUT), UMEL (FEKT)
Jan Vít, doc. Ing., Ph.D., RG-2-05 (CEITEC VUT), ÚMVI OSFA (FSI)
Cihlář Jaroslav, prof. RNDr., CSc., RG-2-01 (CEITEC VUT), ÚMVI OKP (FSI)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., NCK MESTEC - SMT (FSI), RG-2-02 (CEITEC VUT), ÚMTMB OM (FSI)

Popis

Kapacitní snímač tlaku DSK705 pro měření nízkých tlaků a tlaku vakua s keramickou základnou a tlakovým rozsahem 60 mbar.

Popis anglicky

Capacitive pressure sensor DSK705 for measuring of a low pressures and vacuum with a ceramic base and a pressure range of 60 mbar.

Klíčová slova

snímač tlaku; nízký tlak; tlak vakua; keramické tělo snímače

Klíčová slova anglicky

pressure senzor; low pressure; vakuum; ceramic sensor body

URL

https://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/prototypy/

Umístění

BD SENSORS s.r.o., Hradišťská 817, 687 08 Buchlovice

Licence

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

Pracoviště

Středoevropský technologický institut VUT (CEITEC VUT)
Ústav materiálových věd a inženýrství (ÚMVI)
Ústav mechaniky těles, mechatroniky a biomechaniky (ÚMTMB)
Ústav mikroelektroniky (UMEL)