Tlakový kapacitní keramický senzor s tvarovanou základnou

Tlakový kapacitní keramický senzor s tvarovanou základnou, sestávající z keramické základny, ve které je vytvořeno zahloubení, na kterém jsou uloženy vodivé elektrody a krycí vrstva. Nad zahloubením je umístěna tlakoměrná membrána se systémem vodivých elektrod. Zahloubení je kruhového tvaru, po obvodu keramické základny je vytvořena rovná plocha, od jejíž krajní vnitřní části je směrem do středu keramické základny vedeno kruhové zahloubení. Na rovné ploše je nanesena spojovací vrstva, přes kterou je keramická základna spojena s tlakovou membránou.

Capacitive ceramic pressure sensor with shaped base consisting of a ceramic base in which is formed a countersink on which are stored the conductive electrodes and the cover layer. Above the countersink there is disposed the pressure sensitive membrane with conductive electrodes. The countersink is circular in shape, the perimeter of the ceramic base is formed by a flat surface, from its inner part toward the center of ceramic base is formed a circular countersink. On a flat surface a bonding layer is applied, through which the ceramic base is connected to the pressure membrane.