Detail výsledku

Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement

FICEK, R.; VRBA, R. Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement. In Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007. Brno: Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií, 2007. 4 p. ISBN: 978-80-214-3410-3.
Typ
článek ve sborníku konference
Jazyk
anglicky
Autoři
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT), UREL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Abstrakt

Novel pressure sensors have been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as
the electron source in emission sensor or as the surface increase element in capacitance
sensor. Both sensors consisted of the elastic electrode-sensing film fabricated by wet
anisotropic etching process and solid electrode. The emission sensor has elastic anode
electrode with membrane and multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) arrays cathode in
the vacuum chamber. The capacitance sensor has the same topology extensive by CNT on
both electrodes without vacuum chamber. The MWCNTs were grown by plasma enhanced
chemical vapour deposition (PECVD).

Klíčová slova

Carbon Nanotubes, Sensor, MEMS

Rok
2007
Strany
4
Sborník
Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007
Vydání
první
Konference
Student EEICT 2007
ISBN
978-80-214-3410-3
Vydavatel
Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií
Místo
Brno
BibTeX 
@inproceedings{BUT23640,
  author="Richard {Ficek} and Radimír {Vrba}",
  title="Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement",
  booktitle="Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007",
  year="2007",
  number="první",
  pages="4",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3410-3"
}
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru