Detail výsledku

Optoelectronic pressure sensor with Si3N4 diaphragm

BENEŠ, P., MATĚJKA, F., VRBA, R., KOLAŘÍK, V. Optoelectronic pressure sensor with Si3N4 diaphragm. In 16th International Conference on Production Research. Praha: Czech Association of Scientific and Technical Societies, 2001. 4 p. ISBN: 80-02-01438-3.
Typ
článek ve sborníku konference
Jazyk
anglicky
Autoři
Beneš Petr, doc. Ing., Ph.D.
Matějka František, Mgr.
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc.
Kolařík Vladimír, doc. Ing., Ph.D.
Abstrakt

Sensor

Rok
2001
Strany
4
Sborník
16th International Conference on Production Research
Konference
Summaries of 16th International Conference on Production Research ICPR-16
ISBN
80-02-01438-3
Vydavatel
Czech Association of Scientific and Technical Societies
Místo
Praha
BibTeX 
@inproceedings{BUT3931,
  author="Petr {Beneš} and František {Matějka} and Radimír {Vrba} and Vladimír {Kolařík}",
  title="Optoelectronic pressure sensor with Si3N4 diaphragm",
  booktitle="16th International Conference on Production Research",
  year="2001",
  pages="4",
  publisher="Czech Association of Scientific and Technical Societies",
  address="Praha",
  isbn="80-02-01438-3"
}
Pracoviště
Ústav automatizace a měřicí techniky (UAMT)
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru