Detail výsledku

Experimental study of MEMS capacitive sensor

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M. Experimental study of MEMS capacitive sensor. In EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings. Brno: Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1, 2009. p. 205-209. ISBN: 978-80-214-3933-7.
Typ
článek ve sborníku konference
Jazyk
anglicky
Autoři
Pekárek Jan, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., RE-KancQ (RE), UMEL (FEKT)
Ficek Richard, Ing., UMEL (FEKT)
Magát Martin, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Abstrakt

This paper describes a new approach to pressure sensors development using capacitive principle. Novel pressure sensor has been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the surface increase element in capacitive sensor.

Klíčová slova

Pressure sensor, capacity, carbon nanotubes, plasma enhanced chemical vapor deposition

Rok
2009
Strany
205–209
Sborník
EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings
Vydání
1
Konference
Electronic Devices and Systems EDS'09 IMAPS CS International Conference 2009
ISBN
978-80-214-3933-7
Vydavatel
Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1
Místo
Brno
BibTeX 
@inproceedings{BUT31908,
  author="Jan {Pekárek} and Radimír {Vrba} and Richard {Ficek} and Martin {Magát}",
  title="Experimental study of MEMS capacitive sensor",
  booktitle="EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings",
  year="2009",
  number="1",
  pages="205--209",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3933-7"
}
Pracoviště
Ústav mikroelektroniky (UMEL)
Nahoru