Detail výsledku
Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou
Vznik: 2008
Název anglicky
Optical pressure sensor with MEMS sensing membrane
Typ
funkční vzorek
Jazyk
česky
Autoři
Kadlec Jaroslav, doc. Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Helán Radek, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Urban František, doc. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., ÚMTMB OM (FSI)
Helán Radek, Ing., Ph.D., UMEL (FEKT)
Urban František, doc. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc., UMEL (FEKT)
Vlach Radek, doc. Ing., Ph.D., ÚMTMB OM (FSI)
Popis
Optický senzor tlaku s MEMS křemíkovou membránou a základnou z materiálu SIMAX.
Popis anglicky
Optical pressure sensor with MEMS sensing membrane and header from SIMAX.
Klíčová slova
Tlakový snímač, optický princip, MEMS membrána
Klíčová slova anglicky
Pressure sensor, optical principle, MEMS membrane
Umístění
BD Sensors, s.r.o., Buchlovice
Licence
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Pracoviště